用語解説

内圧検出方式のリーク検出回路で、熱の発生のない独自開発の空気作動弁を用いている。高圧用、特高圧用、負圧用を除き、リークテスト終了時にエアブローを行い、ワークからの異物侵入を防止し、回路のクリーニングを行うと同時に加圧弁の動作確認と、差圧センサの機能確認を行う機能を搭載している。
（⇒ 等圧回路）

インテリジェント II エア回路

インテリジェント I エア回路に等圧バルブが追加され、ワークとマスタの等圧回路を設けた回路。

エアブロー（マニホールドクリーニング）　　　　　　　　　　　　

ワークからの異物侵入を防止し、計測回路のクリーニングを行うと同時に、加圧弁の動作確認と、差圧センサの機能確認を行うために計測終了時に空圧源を開きエアを排気口に吹き出すこと。（インテリジェント I 、 II エア回路）

エアリークテスタ

空気（圧）を利用し、様々な製品及び部品の洩れを検査する計測器。自動車関連、ガス器具関連に広く実用化されている。特に自動車関連への普及が顕著であり、ほとんど全ての部品の製造工程でオンラインで全数検査が行われている。自動車部品の場合、実用上は油・ガソリン・水等が使用される物の洩れ検査を空気に置き換えて行っている。

ATC方式

熱電対式温度センサでワークとマスタの温度差を検出し、温度差ごとに定めた補正量で温度影響を補正する方式。（温度差と検出での差圧値の相関データは予め学習により求めておく。）

オートリークキャリブレーション機能

測定系の等価内容積値を自動的に算出する機能。

オートリークキャリブレータ（ALC）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

ダイヤル設定した容積をパイロット圧の切り替えで変化させるようにした容積自動可変タンク。リークキャリブレーション（等価内容積の計測）とKチェックに使用される。（⇒等価内容積）

オートドリフト補正（学習補正）機能

過去のいくつかの良品サンプルデータから補正量を求める学習方式。なだらかな環境の変化に追従し補正を行う。過去に良品データが無い場合や、始業時などリークテストの環境が大きく変化する場合にマスタリング値をオートドリフト補正の初期値として使用する。　
（⇔固定ドリフト補正）

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加圧行程（CHG）　　　　　　

ワークとマスタにテスト圧を印加する行程。ワーク内圧がある程度安定するまでの時間が必要。

加圧保持

→チャージホールド参照

外圧検出方式（二次圧検出方式）

ワークをカプセルに入れるか部分的に覆い、ワーク内を加圧または減圧し、洩れによって生じるカプセル内の圧力変化を検出する方式。ワーク内容積が大きく内部の差圧が検出しにくいワークや変形しやすいワーク、テスト圧が高い場合に適したリークテスト方式。

外部排気弁

テスタの外部に設置する排気弁。テスタの内部にワーク内の水や油などの異物が混入するのを防ぐ。動作制御はテスタ本体で行う。

学習サンプル（サンプル）

オートドリフト補正における補正値を求めるための良品データ。 0～20の設定が可能。設定されたサンプル数を超えたときは新しいデータ値が取り込まれ、最も古いデータは除かれる。

学習サンプル数（サンプル数）

オートドリフト（学習）補正のためにサンプリングするデータの上下限値設定。この設定を超えたデータはノイズ、許容範囲内の微小リークデータとしてサンプリングされない。マスタリングを使用する時はマスタリング値を中心として上下限を設定する。

荷重式検出方式（歪み検知法）　　　　　　　　　

ワークをカプセルに入れ減圧したときのワークの変形具合を計測して洩れを検知するリークテスト方式。ビニールなど容易に変形するパッケージ製品が対象。

カプセル

密閉容器

空圧ユニット

センサ、バルブ等で構成される空気回路を搭載したユニット、リークセンサユニットはその一部。

ゲージ圧

大気圧を基準とした圧力。

ゲージ圧降下方式（圧力計法）

ワークを加圧または減圧し、バルブで封止した後の洩れによるワーク内の時間的圧力降下を圧力計または圧力センサ、圧力スイッチ等で検知するリークテスト方式。

Kチェック機能

差圧センサの感度や測定系の異常確認を行う機能。
リーク係数（等価内容積）を求め、既に求めたリーク係数と比較することにより感度の変化をチェックする機能。

K（Ve）　　　　　

等価内容積またはリーク係数（mL：ミリリットル）

警報設定

洩れ規格から求めたテスタの判定基準値。

検出行程（DET）

微少洩れの検出を行う行程。

高速チャージ回路

加圧行程の前にテスト圧より少し高い圧力を一定時間供給し、規定のテスト圧に素早く到達させる方式

校正証明書

表す量（計測）の値が国家標準・国際標準に対してトレーサブルである標準器で校正したことを証明するもの。

校正ポート

リークマスタやリーク校正器を使用して感度と判定動作のチェックを行うために用意された接続口。基準器や標準器を用いて差圧、テスト圧の検査･校正も可能である。

固定ドリフト補正

常に一定の補正量で測定値の補正を行う方法。
（⇔オートドリフト補正）

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差圧

二つの圧力の差

差圧検出方式（差圧計法）　　　　

洩れのない基準品（マスタ）とワークを加圧または減圧し、洩れによって生じるマスタ内とワーク内の差圧変化を検出するリークテスト方式。現状のコスモ計器のエアリークテスタは本方式が採用されている。

差圧/変位併用式リークテスト

大リーク判定を変位式（ワークをカプセルに入れて真空にしたときワークが膨らむ特性を利用してリークテストする検査方式。）で、小リーク判定を差圧検出方式で検出するリークテスト方式。分包、ピロー包装、ブリスターパック（PTPシート）などの風袋及び軟質包装体が対象。（⇒変位式リークテスタ）

サンプル

自己診断機能

水没気泡目視検査（気泡検知法）　

ワーク内を加圧し、水中に水没するか、石けん水を塗布して気泡を目視するリークテスト方式。

絶対圧

絶対真空を基準とした圧力

セルフチェック機能（自己診断機能）　　　　　

毎回の計測でバルブ動作を自己診断し、更に差圧センサの性能をチェックする機能。

センサ固有係数

圧力センサにおける圧力変化量と容積の変化量の比率。リークが発生した時に生ずる差圧変化は容積変化の量によりその値が変わり、差圧をリークに変換する係数としての内容積は等価内容積として表される。単位ｍL/kPa

層流

流体が規則正しく並んで一様に流れている状態。（⇔ 乱流）

層流管

空気または非腐食性気体の流量を流量に比例した差圧力として検出する流量検出器。

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待機時間 (WAIT)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

運転休止後次の運転が開始されるまでの時間。

断熱圧縮効果

短時間でワークを加圧した場合に、外部との熱交換が行われないためワーク内の温度が上昇すること。

チャージホールド機能（加圧保持）

ワークにテスト圧を印加し保持する機能。洩れ箇所のチェック時等に利用する。

ΔV

容積変化量（mL:ミリリットル）

ΔP

差圧（Pa：パスカル）

電気的自己診断機能

電源投入時及びリークテスト起動時に電気的自己診断を行う。

等圧回路

ワークとマスタを等圧にする行程を持った回路。検出行程に移る前にドリフト分をカットできる。
（⇒インテリジェント II エア回路）

等圧行程

テスト圧の供給後、空圧源を遮断し、ワークとマスタ間の回路を導通させる行程。マスタリングを行う時に発生する差圧を適正な範囲内で確実に計測することがでる。容積が大きいワークにおいて時間短縮の効果がある。

等価内容積 K（Ve）

差圧から洩れ量を求めるための係数で、ワークとテスタ、計測系全体の圧力変動要因（ワークや差圧センサの内圧による容積変化）を考慮した見かけ上の容積。（⇒リーク係数）

同時比較方式

差圧検出方式の１つで、マスタを使わず２つのワークの差圧変化を検出するリークテスト方式。

ドリフト

洩れ以外の影響による圧力変動。

トレーサーガス検知方式（異種ガス検知法）

ワーク内に空気中にない異種ガスをトレーサーガスとして圧縮空気に混入して封入し、ワークを覆う密閉容器内に洩れたガスをガス検知装置で検知するリークテスト方式。

トレーサビリティ

表す量（計測）の値が国家標準・国際標準に対してトレーサブルであること。

トレーサビリティ証明書

表す量（計測）の値が国家標準・国際標準に対してトレーサブルであることを証明したもの。

トレーサビリティ体系図

表す量（計測）の値が国家標準・国際標準に対してトレーサブルであることを体系図にて表したもの。

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内圧検出方式

ワーク内を加圧または減圧し、圧力の変化を検出する方式。最も一般的なリークテスト方式。
（⇔外圧検出方式）

二次圧検出方式

→外圧検出方式参照

2段加圧方式

加圧工程の前にテスト圧より少し高い圧力を一定時間供給し、規定のテスト圧にす早く到達させる方式。

ノイズリダクション（NR）

検出行程においてNG判定されたワークを自動再検査し、ドリフトによる誤判定を減少させる機能。
大リーク設定と小リーク設定の中間領域を不確定判定領域とし、データがこの領域のときはノイズが除去されるまで検出行程を延長して判定する。ノイズ比率が大きい時、厳しい規格設定や時間短縮が必要な時に使用する。再検出行程は、等圧行程の有無により動作が異なる。

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排気干渉対策

複数のテスタを同一装置で使用する場合、排気行程が互いの測定に影響を与ることを防ぐ機能。全てのテスタの排気タイミングを合わせるため、起動信号を切ると排気を行うように設定する。

バイパスユニット

リークテスタの外部から直接ワークを加圧する大流量バルブユニット。大容量ワークのリークテストにおいて加圧時間が短縮できるため、テスト時間の短縮や、検出制度の向上が可能。電空レギュレータを使用する方法と、減圧弁を使用する方法がある。

判定値

洩れ規格から求めたテスタの判定基準。

テスト圧

平衡行程（BAL）

テスタ内のバルブを閉じて検査部を閉回路にし、ワークとマスタ間の圧力差を検出する。この行程は、バルブ閉止後の圧力の変動が安定するのを待つ時間であると共に、大リークを検出する行程でもある。

変位式リークテスタ

ワークをカプセルに入れて真空にしたときワークが膨らむ特性を利用してリークテストする検査方式。変形し易く、内部に空気を含むワークが対象。このように、ワークの特性に依存するため洩れの有無は判定できるが、洩れ量の定量化は洩れ量の既知なもので対応しなければならない。

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マスタ

洩れのない基準品

マスタチャンバ

差圧式リークテストの時にマスタワークの代わりに使用するワークとのバランスを取るために使用する。マスタチャンバを使用することにより洩れのない基準品（マスタ）が必要なくなり、マスタの保守管理が容易になる。

マスタ比較方式

差圧検出方式の１つで、マスタとワークの差圧変化を検出するリークテスト方式。

マスタプリセット機能

リークテスタの測定値を洩れ成分とドリフト量に分離する機能。抽出されたドリフト量を「マスタプリセット値」と呼び、この値で測定値の補正を行う。（LS-1861, LS-1862）
通常の行程でのデータと安定時間を十分とった時のデータの差をドリフト量とし補正する方式。時間短縮、検出力向上に効果がある。

マスタリング学習補正　　　　　　　　　　　　

学習補正の初期補正値をマスタリングで求めたマスタリング値とする機能。テスト条件（容積やテスト圧）によるドリフト成分はマスタリングで補正され、周囲温度などの環境変化によるドリフトは学習機能により補正することができる。

マスタリング値

マスタリングにより抽出されたドリフト量。過去に良品データが無い場合や、始業時などリークテストの環境が大きく変化する場合にこの値をオートドリフト補正の初期値として使用する。

マスタリング機能

リークテスタの測定値を洩れ成分とドリフト量に分離する機能。抽出されたドリフト量を「マスタリング値」と呼び、この値で測定値の補正を行う。急激な環境変化やテスト条件の違いに追従し補正を行う。（LS-1842、LS-1880）

マスタリングリミット

マスタリングによる補正量の上下限値。通常差圧センサの計測許容範囲を超えない設定とする。この設定の範囲内においてマスタリングが有効になり、超えるとマスタリングはエラーとなる。

マニホールドクリーニング

→「エアブロー」参照

マニュアル（MAN）

キーボードでの操作（⇔REM）

マルチ比較方式(特許出願中)

差圧検出方式の１テストサイクルで、2個のワークを同時比較で検査し、そのうち一つのワークをマスタ比較で再度判定する方式。同時比較方式は変形するワークや温度の高いワークでも、比較測定するワークの特性が近ければ相殺され影響を受けにくくなるので高精度な検出が可能であるが、洩れ量の近いワークを比較検出しリークを見逃す危険がある。マスタ比較を加えることによりこの危険を少なくすることができる。その上１サイクルで２個処理出来るので、テスト時間の短縮が可能。

洩れ規格

ワークの合否判定基準