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| ・ |
制御応答：1.5sec（内容積80mLの時）（20% of F.S.) |
| ・ |
制御精度：±0.05% of F.S. |
| ・ |
特殊制御でオーバーシュートが少ない |
| ・ |
負圧、連成圧の制御も可能 |
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| 制御精度 |
±0.05% of F.S. |
| 圧力センサ精度 |
±0.15% of F.S. |
| 温度特性（零点） |
±0.03% of F.S./℃ |
| 温度特性（感度） |
±0.03% of F.S./℃ |
制御応答
（内容積80ccの時) |
20% F.S.応答 約1.5秒
90% F.S.応答 約3秒 |
| 表示 |
0〜±19999（4.5桁表示） |
| 配管接続口径 |
Rc（PT) 1/8（メネジ） |
| 空圧源 |
500kPa 以上（500kPaレンジは700kPa以上）
圧力計、減圧弁、負圧発生器は標準で付属します。 |
| 電源電圧 |
AC 100V ±10V |
| 仕様温度範囲 |
5〜40℃ |
| 適応流体 |
空気 |
| 重量 |
約12kg |
| 周辺機器 |
10点設定ユニット（SE-10） |
| 微圧 |
ゲージ圧 |
| 0〜1kPa |
0〜50kPa |
| 0〜2kPa |
0〜100kPa |
| 0〜5kPa |
0〜200kPa |
| 0〜10kPa |
0〜500kPa |
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