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ラミナフローチューブ
LF-104/105B/2 |
流量センサ |
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| ・ |
応答性が良く、瞬時流量計として最適 |
| ・ |
圧力損失が少なく、高ライン圧下でも使用可能 |
| ・ |
温度補正用の温度センサ付、又は取付可能 |
| ・ |
可動部がないため信頼性が高い。 |
| ・ |
入口と出口にフィルタが内蔵 |
| ・ |
ライン圧が負圧でも使用可能 |
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| 測定流体 |
空気または非腐食性気体 |
| 直線性 |
±0.5% of F.S. |
| 出力差圧 |
0〜F.S.流量に対して約0〜600Pa |
| 圧力損失 |
出力差圧の150〜200% |
| ライン圧誤差(※1) |
最大使用ライン圧にて±3.5%以下 |
| 許容過圧 |
最大使用ライン圧×1.5倍 |
| 温度センサ(サーミスタ) |
応答性:10s以内LF-104、LF-105Bは標準で取付け、LF2はオプション |
| (※1) |
ライン圧誤差とはライン圧下における層流管の流量を大気圧にして基準流量計で測定した実測の流量と、ライン圧下における層流管の流量値(実流量)をライン圧計算式にて算出した値との差を百分率であらわしたものです。ライン圧が大きくなるに従い誤差が大きくなります。 |
| 記号 |
流量レンジ゙(注2) |
最大使用
ライン圧 |
| LF−104−10C |
0〜10mL/min |
990kPa |
| LF−104−20C |
0〜20mL/min |
| LF−104−50C |
0〜50mL/min |
| LF−104−100C |
0〜100mL/min |
| LF−104−200C |
0〜200mL/min |
| LF−104−500C |
0〜500mL/min |
| LF−104−1L |
0〜1L/min |
700kPa |
| LF−104−2L |
0〜2L/min |
| LF−104−5L |
0〜5L/min |
| LF−104−10L |
0〜10L/min |
500kPa |
| LF−104−20L |
0〜20L/min |
| LF−104−20L |
0〜30L/min |
| LF−105B−50L |
0〜50L/min |
350kPa |
| LF−105B−100L |
0〜100L/min |
| LF2−200L |
0〜200L/min |
50kPa |
| LF2−500L |
0〜500L/min |
| 表は大気圧下で使用するときの測定レンジです。ライン圧下で使用するときは、以下の式を用いてレンジを選択してください。 |
| A=(101.3/(101.3+P))×Q |
ライン圧:P(kPa) 層流管に加わる圧力
最大流量(大気圧換算):Q(atm L/min) 測定したい最大流量
層流管のレンジ:A(L/min) 使用する層流管レンジ |
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